ガラス接合加工
概要
ガラス材料同士を直接接合する加工技術です。高い耐熱性・耐薬品性・光学特性を維持した接合が可能です。
特長
接着剤を使用しないため、高温環境や薬品などの化学的負荷下でも安定した性能を発揮します。さらに、光学的な透明性にも優れ、光学用途や精密デバイス用途にも適した接合技術です。
ブラインドキャビティ加工
オープンキャビティ（貫通穴加工を施したガラス）と板ガラスを接合することで、底面を有するキャビティ構造を形成できます。これにより、垂直な側壁を持つ高精度なブラインドキャビティの作製が可能です。
ガラス製チップトレー
ガラスの耐熱性・耐薬品性・寸法安定性を活かし、微細加工や接合技術により高精度に製作されるチップ搬送用ガラス製トレーです。
ガラス製マイクロ流路
ガラス基板に形成した微細流路を接合技術で封止することで、高精度なマイクロ流路の製作が可能です。 接着剤を使用しない接合により流路内の汚染を抑え、化学分析やバイオ用途など高い信頼性が求められる分野に適しています。
ガラス製吸着ステージ
耐熱性・高い寸法安定性を活かし、微小部品を安定して吸着・固定できます。
仕様
加工サイズ
～300×300mm
加工板厚
0.3mm/枚～
対応ガラス種
無アルカリガラス・石英ガラス
対応形状
パネル形状・ウエハー形状・その他形状も相談可能
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