すぐれた透明性をもつ
ガラス製真空チャックが誕生しました
透明な真空チャックが実現
最小10μm径の吸引穴を自由に形成
最大500mm角サイズで作製OK
部分吸引にも対応可能
ニーズに応じたカスタム設計
静電気の抑制も期待できる
お客様のご要望に応じて、フルオーダーメイド対応いたします
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従来のポーラスチャックとの違い
ポーラスチャックとは？
多孔質（ポーラス）構造の材料を用いて、ワークを吸着・固定するための治具。
内部でつながった微細な気孔に負圧（真空）をかけることで、
対象物（ワーク）を吸着し固定する。
素材
構造
吸着の仕組み
ミクロ真空チャック
ミクロ真空チャックとは？
ミクロ技術研究所が開発した超高精密真空吸着治具。
ポーラスの代わりに、ガラス板に微細穴加工を施して製作した吸着板によって
ワーク（対象物）を吸着・固定する。
すぐれた透明性と、設計やレイアウトの自由度の高さが特長。
素材
構造
吸着の仕組み
セラミック製ポーラスチャックでは難しかった作業も
ミクロ真空チャックなら実現可能
ミクロ真空チャック
6つのメリット
吸着しながら
観察・作業が行える
吸引力や部分吸引などの
カスタム設計に対応
吸着板の形状を
高い自由度で設計できる
吸着板表面の
静電気を抑制できる
ガラス表面に微細な凹凸を形成（マット処理）することで、作業中における静電気の発生を予防につながります。
マット処理は、ご要望に合わせて任意の濃度（色味）とデザインを指定できます。
オーダーメイドで
目的や用途に完全対応
吸着板と同様に、ニーズに応じて、ボディの厚み、サイズ、溝の形状・深さも自由にカスタマイズできます。目的に合わせて、完全オーダーメイドの真空チャックが実現可能です。
吸着板への
精密研磨もOK
ミクロ真空チャックは、
こんな領域で真価を発揮します
半導体
・露光
・ダイシング
・コーター
・実装
・研磨／CMP
・検査など
電子部品
・印刷装置
・印刷装置
食品
自転車
など、多分野で活躍が期待
よくある質問
よくある質問
ガラスチャックおよびガラスボディの最大サイズは？
500㎜角まで対応可能です。
ガラスチャックおよびガラスボディの最大厚みは？
納期はどれくらいかかる？
何枚から購入可能？
最少で1枚から購入可能です。
サンプルの貸し出しは可能？
どの程度のコストで購入できる？
ポーラスチャックとの違いは？
ワークを吸着・固定する原理は、ポーラスチャックと同じです。
ミクロ真空チャックは、微細加工により穴を形成するため、任意箇所に吸引領域を設けられる点で有利です。
また、ガラスは透明度が高いため、ワークを吸引しながら観察等の作業を行うことも可能です。
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