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スパッタリング加工

基材の表面に薄膜金属をコーティングする技術のひとつ。真空装置内で材料原子を飛ばして基材に付着させる技術です。

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レジストパターニング・レジストコーティング加工

スリット/スピン/スプレー等のコーティング技術を用い、低粘度から高粘度まで幅広い材料を、用途に応じて最適な条件で様々な基材上にレジストや機能性材料を塗布します。

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