薄膜金属エッチング加工

概要

Au、Ag、Cu等の一般的な金属材料のほか、各種金属にも対応したエッチング加工が可能です。

特長

フォトファブリケーション技術と併用し、配線形成が可能
各種薄膜金属に合わせたエッチングが可能

仕様

加工サイズ
300×300mm
最小L/S
3μm/3μm
膜種
Cu/Cr/Au/Al/ITO/Ti

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