TGV加工
概要
ガラス基板に微細な貫通孔を形成する技術です。
各種ガラス素材に対応しています。
特長
穴径の均一性が優れている。
アスペクト比150:1まで実現。
孔径の均一性
大判ガラスに均一の径の孔で加工します。
アスペクト比
150:1まで実現しました。
高い垂直性
90％以上の垂直性で加工いたします。
様々な基板サイズに対応
最大510×515サイズにTGV加工可能です。
仕様
加工サイズ
～510mm×515mm
板厚
0.4mm～1.8mm
穴径
Φ20μm～
貫通穴形状
ストレート,砂時計
ガラス種
無ｱﾙｶﾘｶﾞﾗｽ・アルカリガラス・石英ガラス・耐熱ガラス
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