フォトファブリケーション加工

概要

感光材を用いて露光と現像によって微細なパターンを形成する技術です。半導体や電子部品、微細な金属部品などに活用が可能です。

特長

マスク露光
マスクレス露光機
マスクが不要のため、試作を短納期で対応可能
様々な素材基板に対応可能

仕様

加工サイズ
マスク露光:320×320mm
マスクレス露光:300×400mm
露光波長
マスク露光:ブロード波長
マスクレス露光:375㎚
L/S
3μm/3μm~

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