レジストパターニング・レジストコーティング加工
概要
スリット／スピン／スプレー等のコーティング技術を用い、低粘度から高粘度まで幅広い材料を、用途に応じて最適な条件で様々な基材上にレジストや機能性材料を塗布します。
特長
創業当時から60年近くの長きにわたり培ってきたコーティング実績と技術力をもとに、材料特性や用途に応じた最適な塗布方法をご提案・対応します。
ポジ型・ネガ型いずれのレジストにも対応可能
細かいパターン形成に適したポジ型レジストの他に、溶剤現像であるネガ型レジストも対応可能。用途に合わせて対応します。
低粘度～高粘度まで様々な塗布材料の対応が可能
低粘度から高粘度まで、幅広い塗布材料に対応可能 1cp〜10000cp（水のように低粘度な材料から、ペースト状の高粘度材料まで） 様々な粘度レンジでのコーティング実績があります。
ムラなく均一にコーティングが可能
ムラの少ない、均一なコーティングが可能 スリット／スピン／スプレー等の各種塗布方式を用い、 基板サイズや材料特性に応じた条件制御により、均一な膜厚を実現します。
その他各種表面機能付与コーティングが可能
【用途例】 ・防指紋コーティング
仕様
加工サイズ
～300×300mm
塗膜厚
1μm～50μm
塗膜粘度
1cp～10000cp
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