ある日、MIRAIはとある社内会議に出席していた。すると、技術者から何度か「フォトリソ」という単語が聞こえてきた。
フォトリソって何だろう…。みんな当たり前みたいに話しているなぁ。そうだ！MICRONに教えてもらおう！
ねぇねぇmicron、さっきの打合せで話していた「フォトリソ」ってどんな技術なの？
フォトリソ、つまり「フォトリソグラフィ」技術のことだね。これは印刷技術の一つだよ。
ふぅーん、印刷技術ねぇ・・・家にあるプリンターみたいなものかなぁ？
うーん、ちょっと違うよ。そうだなぁ・・・例えばこの技術はガラス基板に、電子回路を作ることにも使うから工程を詳しく見てみようか！
① 成膜（せいまく）
まずは電子回路の素材となる金属をガラス基板上につけるよ。この時に厚さを均一に塗ることが重要なんだ。
（※「成膜」については別の機会で説明します。）
金属を均一に塗るの、難しそう・・・
② レジスト塗布
次にレジストを塗るよ。ちなみに、「レジスト」は材料の一つ。光が当たった部分が溶けやすくなるもの（ポジ型）と、逆に硬化して残るもの（ネガ型）があるよ。
へぇー固まったり、溶けたりする不思議な液体ね・・・
③ マスク作製
次に「回路の図（パターン）をパソコンで設計し、ガラスなどの光を透過する材料にパターンを描いた「マスク」を作るんだ。マスクには、光を通す部分と通さない部分があって、その組み合わせで回路の形が決まるよ。
そのマスクが、回路の“型”みたいな役割をしているのね。
④ 露光・現像
レジストを塗布した基板にマスクを重ねて光を当てるよ。光の当たったレジストが化学反応して、硬化したり溶けやすくなったりするんだ。簡単に言うと、日焼けみたいに光が当たった部分が変化するイメージだね。
回路パターンの形に合わせてレジストが反応するのね。
⑤ エッチング
基板を薬品に浸し、不要なレジストを薬液で取り除くんだ。
その後、金属を溶かす薬液に浸してレジストが残っていない部分の金属だけを溶かすんだよ。
なるほど、レジストを溶かす専用の薬液と、金属を溶かす専用の薬液があるのね。
⑥ 仕上げ
残ったレジストを除去したら、ガラス基板上に金属で描かれた回路の出来上がりだよ。
※製品拡大写真
すごい！！たくさんの工程を経て回路ができるのね。
その通り！髪の毛より細い線でできているパターンだからたくさんのノウハウが必要なんだよ。各会社によって得意分野もできることも違うんだ。
そうなのね！それじゃあ、ミクロの得意なこと、他と違うところって何なのかしら・・・？
次回、ミクロ技術研究所ならではのフォトリソ技術の強みとは？MISAKIはその秘密に迫ります。
